Vật liệu cấu trúc nano - Chương 1: Giới thiệu về điện tử học nano

CH.1- GIỚI THIỆU VỀ ĐIỆN TỬ HỌC NANO (nanoelectronics) – DÒNG ĐIỆN Ở THANG NANO CH.2- VẬT LIỆU BÁN DẪN CẤU TRÚC NANO CH.3- VẬT LIỆU QUANG TỬ, QUANG ĐIỆN TỬ NANO & NANOPLASMONICS CH.4- VẬT LIỆU TỪ CẤU TRÚC NANO & SPINTRONICS CH.5- CÁC VẬT LIỆU NANO KHÁC & NHỮNG VẤN ĐỀ LIÊN QUAN

pdf108 trang | Chia sẻ: hoang10 | Lượt xem: 563 | Lượt tải: 0download
Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Vật liệu cấu trúc nano - Chương 1: Giới thiệu về điện tử học nano, để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD ở trên
TR NG I H C BÁCH KHOA HÀ N I HANOI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY (HUT) INTERNATIONAL TRAINING INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE VI N VT LI U C U TRÚC NANO NANOSTRUCTURED MATERIALS Nguy ễn Anh Tu ấn HANOI - 2014 CH Ơ NG 1 GI ỚI THI ỆU V Ề ĐIỆN T Ử H ỌC NANO: DÒNG ĐIỆN Ở THANG NANO AN INTRODUCTION TO NANOELECTRONICS & CURRENT AT THE NANOSCALE NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 PH ẦN N ỘI DUNG CHÍNH CH.1- GI I THI U V IN T H C NANO (nanoelectronics) – DÒNG IN THANG NANO CH.2- VT LI U BÁN D N C U TRÚC NANO CH.3- VT LI U QUANG T, QUANG IN T NANO & NANO- PLASMONICS CH.4- VT LI U T C U TRÚC NANO & SPINTRONICS CH.5- CÁC V T LI U NANO KHÁC & NH NG V N LIÊN QUAN NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 NI DUNG MÔN H C GI ỚI THI ỆU CHUNG Mc ích môn h c, Cu trúc & ph m vi môn h c, Sách GK và tài li u tham kh o TỔNG QUAN (Nguy ễn Anh Tu ấn) 1. Tóm l c l ch s v KH&CN nano 2. Phân lo i, gi i thi u chung v cách th c ti p cn nghiên c u các v t li u nano 3. Nh ng c tr ng, tính ch t chung ph thu c kích th c 4. M t s vn chung v công ngh ch to vt li u nano 5. Các công c cho khoa h c nano (ch t o, thao tác, l p ráp và phân tích các c u trúc nano) 6. ng d ng c a công ngh nano - Các s n ph m t công ngh nano 7. Nh ng thách th c và c ơ h i i v i KH & CN nano. CH ƯƠ NG 1: GI ỚI THI ỆU V Ề ĐIỆN T Ử NANO (nanoelectronics) – DÒNG ĐIỆN Ở THANG NANO (Nguy ễn Anh Tu ấn) 1.1. Dòng in v mô 1.2. Dòng in l ng t 1.3. S v n chuy n mesoscopic 1.4. Dòng xuyên ng m l ng t 1.5. Di trú in t (electromigration) 1.6. Dòng ơ n in t và in t h c phân t (molecular electronics) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 NI DUNG MÔN H C CH ƯƠ NG 2: VẬT LI ỆU BÁN D ẪN C ẤU TRÚC NANO (Nguy ễn V ăn Quy ) 2.1. Gi i thi u v linh ki n bán d n có c u trúc nano 2.2. Ht nanô bán d n: Tính ch t, t ng h p và ng d ng 2.3. Dây nanô bán d n: Tính ch t, t ng h p và ng d ng 2.4. Cu trúc nanô “3D” d ng màng m ng 2.5. Các ph ơ ng pháp v t lý ch t o c u trúc nanô 2.6. Các ch m l ng t bán d n 2.7. Nano silic 2.8. Các c u trúc nano ZnS và ZnO CH ƯƠ NG 3: QUANG T Ử, QUANG ĐIỆN T Ử NANO & NANO-PLASMONICS (Nguy ễn Anh Tu ấn) 3.1. M u 3.2. Quang t - nanophotonics 3.3. Quang in t nano 3.4. Quang t nano 3.5. Nanoplasmonics & Spinplasmonics 3.6. M t s ng d ng tiêu bi u NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 NI DUNG MÔN H C CH ƯƠ NG 4: V ẬT LI ỆU T Ừ C ẤU TRÚC NANO & SPINTRONICS (Nguy ễn Anh Tu ấn) 4.1. Tính ch t t thang nano 4.2. Vt li u t kh i có c u trúc nano 4.3. Ht t nano, dot t và các chùm nano t 4.4. Dây t và ng t nano trúcu 4.5. Màng m ng t c u trúc nano t nano 4.6. Phân t và nguyên t t cô l p Cácc 4.7. Các k thu t hi n i quan sát và phân tích các c tr ng cu trúc t nano 4.8. Spintronics CH ƯƠ NG 5: CÁC VẬT LI ỆU NANO KHÁC VÀ NH ỮNG V ẤN ĐỀ LIÊN QUAN 5.1. Các v t li u nano carbon () 5.2. Các v t li u nano ch c n ng c bi t khác () 5.3. Hoá h c nano () 5.4. Các c u trúc nano trong t nhiên (Nguy ễn Anh Tu ấn) 5.5. in t h c phân t , nguyên t và thông tin l ng t (Nguy ễn Anh Tu ấn) 5.6. Tình tr ng phát tri n và t ơ ng lai c a công ngh nano (Nguy ễn Anh Tu ấn) 5.7. V n c h i và an toàn trong công ngh nano (Nguy ễn Anh Tu ấn) 5.8. Nh ng v n o c xã h i liên quan t i KH&CN nano (Nguy ễn Anh Tu ấn) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 CÁC V ẤN ĐỀ TI ẾP C ẬN ĐẾ N NANOELECTRONICS 1. C ơ ch ế c ủa dòng điện v ĩ mô 2. Cơ ch ế c ủa dòng điện l ượ ng t ử 3. Cơ ch ế c ủa s ự v ận chuy ển mesoscopic 4. Cơ ch ế c ủa dòng xuyên ng ầm l ượ ng t ử 5. Cơ ch ế c ủa s ự di trú điện t ử (electromigration) 6. C ơ ch ế c ủa dòng đơ n điện t ử và điện t ử h ọc phân t ử (molecular electronics) CÁC TÀI LI ỆU THAM KH ẢO CHÍNH CHO PH ẦN N ỘI DUNG NÀY [1] David K. Ferry and S. M. Goodnick, TRANSPORT IN NANOSTRUCTURES, Cambridge University Press 1997 (Mc cao, v t lý l ư ng t ch t r n) [2] Colm Durkan, CURRENT AT THE NANOSCALE – An Introduction to Nanoelectronics , Imperial College Press 2007 (Mc trung bình, v t lý ch t r n i c ươ ng ) NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1.1 - Dòng in v mô Gi ới thi ệu khái quát nh ng nét chính trong ti n trình nh n th c và x lý i v i v t d n in và s d n in v mô: 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Khi ch ư a phát hi ện ra e - ⇒ quan sát v t d n (môi tr ng) nh m t t ng th , t m v mô, mô t các hi n t ng liên quan n v n chuy n in tích – các hi n t ng d n in và nhi t – ch y u d a trên các mô hình có tính hình th c lu n, coi môi tr ườ ng là liên t ục, m i dòng ch ảy là liên t ục – các ph ươ ng trình liên t c. → Các Ph ơ ng trình Maxwell: 1 ∂Η 4π 1 ∂E ∂ρ ∇ ⋅ Ε = ;0 ∇ ⋅ Η = ;0 ∇× Ε = − ;∇× H = j + ⇒ div j + = 0 c ∂t c c ∂t ∂t → Mô hình d n in và nhi t c a Drude d a trên lý thuy t NG H C CH T KHÍ c a khí lý t ng: coi v t d n là m t H CH T KHÍ IN T , trong ó các in t d n ( in tích âm) “lang thang” t do trong KL, còn các lõi ion d ơ ng “t nh t i” các nút m ng tinh th . → Các phân t khí lý t ng tuân theo phân b ố Maxwell-Boltzmann . - d n theo mô hình Rude: ne 2τ σ = m NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1.1 - Dòng in v mô 2) Lý thuy t l ng t : Lý thuy ết Sommerfeld - coi in t là t do Sau khi phát hi ện ra e - - tính ch t l ng t c a vào (c ơ h c l ng t ) ⇒ quan sát v t d n v n nh m t t ng th , t m v mô, và LIÊN T C, nh ng mô t các hi n t ng d n liên quan n s v n chuy n c a các h t l ng t có tính ch t XÁC SU T ⇒ s d ng dòng ch y l ư ng t liên t c – các ph ơ ng trình l ng t liên t c, và TÍNH B O TOÀN XÁC SU T: ∂ P ( r , t ) Ví d ph ươ ng trình Schrodinger là m t d ng c th c a p/t liên t c không div j + = 0 ph thu c th i gian mô t xác su t in t trong không gian (hàm sóng ψ(r)): ∂t - in t t do tuân theo phân b ố Fermi-Dirac . - Các thông s Fermi: kF, vF, EF, TF & hàm phân b F-D tính toán và nghiên c u các tính ch t d n in và nhi t. 3) Dòng in trong ch t r n: Mô hình in t G N t do & C u trúc d i Khi xét n các lõi ion d ơ ng t i các nút m ng tinh th tu n hoàn, hình thành nên tr ng th tu n hoàn trong ó các e - không còn t do hoàn toàn, mà “b kìm gi ”, b h n ch s chuy n ng t do – IN T GẦN T DO ⇒ tính ch t gn gi ng v i ch t l ng ⇒ CH T L NG FERMI – vì ch t l ng in t này tuân theo phân b ố Fermi-Dirac . - Vt d n v n c xét nh m t t ng th , t m v mô, và LIÊN T C, nh ng mô t s d n in liên quan n s v n chuy n trong TR NG TH TU N HOÀN ⇒ Hàm Bloch & toán t t nh ti n – các ph ơ ng trình l ng t liên t c và xác su t (hàm sóng) có d ng tu n hoàn . Ví d ph ươ ng trình Schrodinger : Hamiltonian có d ng tu n hoàn ( TR là toán t t nh ti n): ⇒ Nng l ng ch phân b liên t c trong mi n k ∈ ± G (b tán s c) & gián on t i ± G →→→ Cấu trúcNguyenAnhTuan-ITIMS d ải. - 2014 1.1 - Dòng in v mô 4) Cu trúc vùng & Kh i l ng hi u d ng - D i tác d ng c a tr ườ ng th ế tu ần hoàn ⇒ các d i n ng l ng b gián on t i các biên vùng Brillouin (vecto m ng ngh ch G) ⇒ To thành các VÙNG N NG L NG. - D i tác d ng c a tr ng ngoài ( in tr ng, t tr ng) ⇒ in t ( m) v a t ng t c ( v) → vecto sóng gia t ng ( k) ng th i v a ch u tác d ng c a tr ng tinh th ⇒ s gia t ng xung l ng ( k) t ơ ng ng v i m* m. ⇒ * i n t trong tr ng tinh th chuy n ng d i tác d ng c a tr ng ngoài v i m t kh i l ng hi u d ng m : Ngh a là m* là o c a m c gia t c c a xung l ng in t theo bi n thiên n ng l ng do tr ng ngoài gây nên. Và sai l ch so v i kh i l ng c a in t t do: m 2h 2 * ≈ 1 + 2 m ma ∆E (a là kho ng cách gi a các nguyên t /h ng s m ng) - E càng nh (b r ng vùng n ng l ng càng nh ), m* càng l n. 5) Ngu n g c c a in tr - Tán x ạ b ởi phonon – các chu n h t bi u di n dao ng m ng tinh th . - Tán x ạ b ởi sai h ỏng m ạng – các nút khuy t/ch tr ng, l ch/méo m ng, ... Làm bi n d ng tr ng - Tán x ạ b ởi t ạp ch ất/nguyên t l tinh th (tu n hoàn) - Tán x ạ b ề m ặt & h ạn ch ế kích th ướ c NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude - Hành vi v n chuy n thang v mô c a các v t d n r t khác nhau, dòng in thông th ng, c hi u r t ơ n gi n qua mô hình Drude - in hình cho các KL. - Khi các v t d n gi m kích th c xu ng n thang nano, nhi u hi u ng tinh t ch c hi u theo cơ ch c a c ơ h c l ng t . - Gi a hai ch v mô và nano là hành vi v n chuy n mesoscopic (trung mô). - nh lu t Ohm cho dòng in thang v mô: • Quan sát th c nghi m c a Georg Ohm vào n m 1820 ã cho th y “ nhi t không i, dòng ch y qua m t v t d n t l thu n v i chênh l ch in th (in áp) t gi a hai u c a v t: I = (V1 – V2) = U/R , ho c: U = IR ”, trong ó = 1/ R là h s t l g i là d n, ph thu c b n ch t và c tr ng cho v t d n, còn R, ngh ch o c a d n, c g i là in tr . • in tr ph thu c vào hình h c c a v t d n và m t hng s v t li u mô t b n ch t c a v t d n - in tr su t , theo h th c: R = l/A, trong ó l và A tơ ng ng là chi u dài và thi t di n c a v t d n. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Vn t ra i v i dòng in th c hi n vi c hi u ch nh thang nano khi có óng góp c a c ơ h c l ư ng t : - Dòng in là gì? - Ti sao và dòng in ph thu c vào in áp nh th nào ? - Cái gì là tiêu bi u cho in tr /in tr su t c a các v t d n? - nh h ng c a s thay i nhi t lên dòng in là nh th nào? Nh ng gi thi t d n n mô hình Drude: - Các in t không t ơ ng tác v i m i in t khác, ho c v i m ng tinh th . + Gi thi t này th a mãn v i ph n l n các kim lo i (vì ó th nguyên t và tơ ng tác in t b ch n hi u qu do m t in t cao c a KL) khí in t t do . + i v i bán d n hoàn toàn khác: c u trúc d i v i khe n ng l ng . - Các in t có th có v n t c b t k , do ó có th có n ng l ng b t k . + Gi thi t này là không th v i quan ni m l ng t : n ng l ng có các giá tr xác nh và gián on. - Tt c các in t có trong v t d n u óng góp vào s d n in. + Th c t ch có m t s in t các l p v in t tham gia: di s, d, - Khí in t ch y theo phân b th ng kê Maxwell – Boltzmann (ki u khí lý t ng). + Th c t các in t tuân theo phân b Fermi – Dirac (/t có t ơ ng tác). NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Ph ụ l ục: Các phân b th ng kê - Vì các /t là các h t Fermion (h t c ơ b n nh , có s l ng t spin l th p phân) Dòng ch y không tuân theo phân b th ng kê Maxwell - Boltzmann , mà theo phân b th ng kê Fermi-Dirac . Mc Tt c các e- có cùng Các e- sp x p theo nguyên lý nng h ng spin u có th có lo i tr c a Pauli: các /t có l ng cùng m t m c n ng l ng cùng h ng spin không th có cùng m t m c n ng l ng NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Ph ụ l ục: Các phân b th ng kê - Phân b Maxwell - Boltzmann i t ng: Các ch t khí lý t ng phân t ử Phân b chu n Phân b s h t Phân b n ng l ng Dng phân b c a m t h t theo quy lu t Maxwell - Boltzmann ph thu c vào nhi t NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Ph ụ l ục: Các phân b th ng kê - Phân b Fermi-Dirac i t ng: Các h t có spin bán nguyên (fermions) điện t ử → tuân theo nguyên lý lo i tr Pauli S phân b c a in t d n trong bán d n tuân theo hàm phân b Fermi-Dirac khi nhi t T t ng d n. Hàm phân b Fermi-Dirac Dng thay i c a hàm phân b Fermi-Dirac vi T > 0 K theo nhi t T t ng d n. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Ph ụ l ục: Các phân b th ng kê - Phân b Bose-Einstein i t ng: Các h t có spin nguyên (bosons) photons, nguyên t ử, h ạt nhân nguyên t ử → không tuân theo nguyên lý lo i tr Pauli S các h t bosons theo phân b Bose-Einstein khi gi m nhi t . NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Ph ụ l ục: Tơ ng quan gi a 3 phân b Bose-Einstein Maxwell-Boltzmann Fermi-Dirac E−µ Suy bi ến n ăng l ượ ng : Các h t các tr ng thái l ư ng t khác 1 (high degeneracy). nhau nh ưng có cùng m t m c nng l ư ng. Hàm phân b i v i các h 2D c a các h t MB, BE và FD. (a) Mc suy bi n th p ( = 0.5); (b) Mc suy bi n cao ( = 5). NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Tr ở l ại v ới các câu h ỏi đã nêu v ề dòng điện: Dòng in là gì? - in áp t lên v t d n t o ra in tr ng E nh x trong v t d n. - E sinh ra l c tác d ng lên các in t ( e = - 1.6×10 -19 C) v i c ng F = eE. -Kt q a: in t b gia t c, chuy n ng d c theo, nh ng ng c chi u v i chi u ng s c c a in tr ng E. - Dòng in là dòng ch y c a các h t t i in tích bên trong v t d n. -C ng dòng in là là l ng in tích (Coulombs) i qua m t im trong v t dn trong m t ơ n v th i gian (s): dòng 1 A t ươ ng ng v i 3.25×10 18 in t i qua m t im trong 1 s. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Mô hình Drude: T i sao và dòng in ph thu c vào in áp nh ư th nào ? - Th c t các in t không b gia t c m t cách liên t c không gi i h n khi ch y qua vt d n, mà b trôi d c theo ng s c in v i v n t c h u h n – gi là vn t c trôi (~ 10 6 m/s) – liên t c b t n hao xung l ng do va ch m v i các t p ch t, các sai h ng m ng, dao ng m ng (tán x phonons) bên trong v t d n. - Kho ng cách và th i gian trung bình gi a các l n va ch m t ơ ng ng g i là quãng ư ng t do trung bình , , và th i gian t do trung bình , , c a các in t . -4 Các giá tr tiêu bi u: v i các kim lo i Troom , ~ 10-50 nm; ~ 10 s. -Lc tác d ng lên in t F (= eE ) = m. a (m = kh i l ng in t , a = gia t c) vn t c trung bình ca in t ν (= a. ) tr c khi va ch m s là: ν = eE /m. -Vi n in t trong m t ơ n v th tích m t dòng J = nev = ne2E/m. -V c ơ b n, h th c này di n t m nh chính c a nh lu t Ohm: m t dòng t l v i in tr ng, J ~ E, mà E = U/l (l là kho ng cách gi a hai im t in th ) -H s t l chính là d n : J = E, do ó = n e2/m Drude’s model - in tr su t = 1/ = m/ne2. 2 3 -14 - Th i gian h i ph c: = m/ne = (0.22/).( rs/a0) × 10 sec , trong ó là in 1/3 tr su t tính theo ơ n v .cm , rs = [3/(4n] là bán kính c a m t hình c u b ng 2 2 -8 th tích cho m i in t ; a0 (bán kính Bohr) = /me = 0.529 × 10 cm (0.529 Å). NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude nh h ư ng c a nhi t lên dòng in là nh ư th nào? - Theo mô hình Drude = n e2/m hay = m/ne2, khi t ng T, các nguyên t trong v t dn chuy n ng m nh m h ơn làm gi m và gi m d n, t ng in tr . - Vi c t ng dòng qua v t d n c ng làm t ng s va ch m gi a các in t và v i th c th bên trong v t d n làm gi m và , và làm T tng lên (làm nóng v t d n). - Chính nhi t làm nóng v t d n mà gây nên s t ng in tr su t ã làm cho ng c tr ng dòng-in áp tr nên không tuy n tính: I nh lu t Ohm Mô hình Drude U = RI E = J = m /ne2 Current (A) (× l) Voltage (V) U - nh lu t Ohm c rút ra hoàn toàn ch a xét n bn ch t l ư ng t ca v t li u. - hi u sâu h ơn v tính d n in, c n xét n mô hình in t t do c a v t d n. NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude S ph thu c th i gian ca dòng in ng nh t trong không gian Ph ươ ng trình chuy ển độ ng c ủa điện t ử - Vi th i gian t bt k , v n t c trung bình c a in t s là: v = p(t)/ m, trong ó p là xung l ư ng cho m i in t . Theo mô hình Drude, j = ne p(t)/ m . - Lc do in tr ng (hay/và t tr ng) ng nh t tác d ng lên m i in t (không va ch m nhau) s là f(t). - Ph ơ ng trình chuy n ng i v i xung l ng cho m i in t s là: nh h ư ng c a t tr ư ng lên dòng in Hi ệu ứng Hall H + + + + + + + + + + + + + + + + E - - - - - - -y - - - - - - - - - jx Ex - T tr ng H tác d ng theo ph ơ ng z lên v t d n, vuông góc v i ph ơ ng x tác d ng in tr ng Ex. ng v i m t dòng jx. in tr su t có m t t tr ng: (H) = Ex/jx - ng th i in t chuy n ng theo ph ơ ng x b tác ng thêm b i lc Lorentz : FL= - (e/c)v×H làm xu t hi n in tr ng ngang Ey: in tr ư ng Hall . - in tr Hall (h s Hall) ng v i in tr ng Hall s là: RH = Ey/jxH NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude (cyclotron frequency) tn s vòng ph thu c vào c ng t tr ng. 1 xác nh d u và n ng h t t i in tích. RH = − nec Rt phù h p v i các bán d n. - Theo mô hình Drude không gi i thích c in tr (Hall) c a kim lo i ph thu c vào t tr ng. RH rt áng k trong tr ng h p các bán d n, ho c m t chút v i các bán kim, nh ng h u nh không gi i thích c cho nh ng kim lo i d n in t t. Ph i s d ng n lý thuy t l ư ng t NguyenAnhTuan-ITIMS - 2014 1) Dòng in c in: nh lu t Ohm & Mô hình Drude Dn in xoay chi u trong kim lo i Tính d n ph thu c t n s ne 2τ - Dòng in ph thu c : j() = ()E() → () = /(1- i ) trong ó σ = 0 0 m in tr ng E không bi n thiên trong không gian Sai l ch kh i mô hình Drude Mô hình Drude - Dòng in ph thu c r và : j(r, ) = ()E(r, ) .t dao ng theo p/t sóng: in tr ng E bi n thiên ω 2 − ∇2 E = ε (ω)E trong không gian c2 - Xu t hi n vai trò b n ch t c a môi tr ng d n in: hng s in môi ph c, th hi n 4πiσ có t n hao b i t n s , ph thu c vào t n s và d n in Drude: ε (ω) = 1+ ω - Vi tn s cao sao cho >> 1 xu t hi n tn s plasma p trong bi u th c 2 ω 4πne 2 hng s in môi: ε ( ω ) = 1 − p , v i ω = ω 2 p m + Khi < p là th c và âm s lan + Khi = p t n s ó sóng dao ng c a truy n c a sóng E s gi m r t nhanh theo hàm in t b t u truy n