Công nghệ Sla

• Five basic commercial technologies StereoLithography (SL) Laminated Object Manufacturing (LOM) Selective Laser Sintering (SLS) Fused Deposition Modeling Solid Ground Curing 3D Printing

pdf58 trang | Chia sẻ: hoang10 | Lượt xem: 698 | Lượt tải: 0download
Bạn đang xem trước 20 trang tài liệu Công nghệ Sla, để xem tài liệu hoàn chỉnh bạn click vào nút DOWNLOAD ở trên
3/29/2011 1 CÔNG NGHỆ SLA Rapid Prototyping Technologies 3/29/2011 2 RP Technologies • Five basic commercial technologies StereoLithography (SL) Laminated Object Manufacturing (LOM) Selective Laser Sintering (SLS) Fused Deposition Modeling Solid Ground Curing 3D Printing Stereolithography SL • 3D Systems’ Valencia CA , , • patent 1986, beginning of RP • photopolymerization using UV laser • epoxies, acrylates • accuracy < 50 microns 3/29/2011 3 1.NGUYÊN LÝ • Bắt đầu có patent 1986 • Là phương pháp phổ biến trong TMN • Độ chính xác cao (± 0.005” XY, ± 0.002” Z) • Chất lượng bề mặt tốt • Vật liệu bán trong suốt • Vật liệu thường dùng là chất lỏng nhậy sáng được lưu hoá nhờ tia cực tím ( UV) (acrylics & epoxies) 2 1.NGUYÊN LÝ 1. Cần hạ xuống chiều sâu 1 lớp ; 2 L ỡi ét d bể hứ. ư qu ọc c a, tạo một lớp nhựa trên bề mặt chi tiết. 3. Khi tia Laser tác động vào bề mặt dung dịch nhựa, nhựa sẽ được đông cứng; l i b b để4. Lặp ạ a ước trên tạo lớp mới. 3/29/2011 4 NGUYEÂN LYÙ CUÛA PHÖÔNG PHAÙP SLA (STEREOLITHOGRAPHY APPARATUS) Quaù trình taïo maãu xaûy ra nhö sau: - Döôùi taùc dung cuûa tia laser, lôùp nhöa ï ï loûng ñaàu tieân cöùng laïi. - Taám ñeá haï xuoáng cho nhöïa traøn leân. - Dao gaït gaït lôùp nhöïa dö beân treân lôùp vöøa taïo. - Tia laser laøm ñoâng cöùng lôùp thöù hai. Lôùp naøy seõ dính keát vôùi lôùp thöù nhaát. - Quaù trình tieáp tuïc cho ñeán khi taïo xong lôùp cuoái cuøng. 1.NGUYÊN LÝ 3/29/2011 5 1.NGUYÊN LÝ LaserOptics Mirror Elevator 1.NGUYÊN LÝ Laser được tập trung nhờ hệ ắthống thấu kính. Máy tính điều khiển gương hướng tia laze tới điểm cần thiết trên bề mặt của bề mặt photopolymer.Polymer sẽ bị đông cứng laị nơi mà tia laze hướng tới. Khi mặt c t ngang được hoàn tất, bộ phận nâng sẽ nâng lên để tạo lớp tiếp teo. 3/29/2011 6 1.NGUYÊN LÝ 1.NGUYÊN LÝ Schematic illustration of the stereolithography process. Source: Ultra Violet Products, Inc. 3/29/2011 7 Hệ thống gương quyét Thấu kính 1.NGUYÊN LÝ Nguồn Laze Trên hệ thống 3D-CAD Tia laze model Dữ liệu CAD data→Dữ liệu lớp Thùng chứa nhựa Hệ thống CMET 6000 II (610x610x500mm) Rapid Prototyping Sequence 3/29/2011 8 RP Sequence • CAD solid model • ‘.STL’ file • Slicing the file • Final build file • Fabrication of part • Post processing TẠO MÔ HÌNH 3D 3/29/2011 9 FILE ‘.STL’ • Phần mềm sẽ tạo ra các tam giác để mô tả đối tượng • File bao gồm các tọa độ X, Y, Z của 3 véc tơ của mỗi bề mặt tam giác cùng với các dấu hiệu để mô tả hướng pháp tuyến của bề mặt • Tạo các phần đỡ để giữ các phần bề mặt nhô ra trong quá trình tạo hình Ví dụ file stl Representing a sphere 3/29/2011 10 ‘.STL’ File • Software generates a tessellated object description • File consists of the X, Y, Z coordinates of the three vertices of each surface triangle, with an index to describe the orientation of the surface normal • Support generation to hold overhung surfaces during build CÁC LỚP CỦA FILE • Các lớp của file stl là mặt cắt ngang 2D của đối tượng 3D • Thông thường chiều dầy Z 0.006” (0.150 mm) 3/29/2011 11 Slicing the File • Series of closely spaced horizontal planes are mathematically passed through the .stl file • Generate a ‘.sli’ file : a series of closely spaced 2D cross-sections of the 3D object • Typical Z thickness 0.006” (0.150 mm) • Other Parameters chosen =fn(RP technology) like a stack of pancakes!! CHI TIẾT ĐƯỢC TẠO XONG 3/29/2011 12 HẬU XỬ LÝ Lấy chi tiết khỏi tấm đế Lấp phần đỡ khỏi chi tiết Làm sạch chi tiết (Chùi, hoặc rửa, ... ) Làm sạch chi tiết (Bằng cát hoặc đánh bóng ) , Final Build File Part •Part sliced •Supports sliced •RP technology parameters set •layer thickness, scan speed,... Supports •Send file to RP machine 3/29/2011 13 Fabrication of Part Models built on stereolithography apparatus. Part and supports shown attached to platform. Post-processing  R l f t f l tfemova o par rom p a orm  Removal of supports from part  Cleaning of part (wiping, rinsing, ... )  Finishing part (sanding, polishing, ) 3/29/2011 14 Automated Support Generators • Solid Concepts Bridgeworks™ • 3D Systems Vista™ • Materialise Magics 3D Systems Vista™ Support Generator 3/29/2011 15 Solid Concepts Bridgeworks™ • Automated support generator – Command line software » Ported to Silicon Graphics workstation Irix 5.3 » Generates supports from STL file • 73 adjustable support parameters – Customizing for varying part geometries Bridgeworks™ Typical Supports 3/29/2011 16 Bridgeworks™ Typical Supports Bridgeworks™ Castled Tops Flat shade on 3/29/2011 17 Bridgeworks™ Variable Support Height Bridgeworks™ Flat Shade Off 3/29/2011 18 Vents and Drains QuickCast™ 1.1 Patterns Post Processing Bench 3/29/2011 19 Platform Breakdown Drainage Removal of parts from platform Removal of supports from part QuickCast™1.1 patterns  Honey Master Cleaning Swabs Napkins Tri-Propylene Glycol Mono-methyl Ether (TPM) 2-Propanol Ultrasonic cleaner Platform Breakdown Tools 3/29/2011 20 Ultrasonic Cleaner TPM wash - Water rinse ´ Có thể tạo được hình dáng sản phẩm phức tạp với các lỗ có kích thước nhỏ ´ Quá trình được tự động hoá hoàn toàn 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM ´ Độ chính xác cao, dung sai khoảng .005"/inch ´ Năng suất vừa phải, thường thời gian giao hàng từ 2-3 ngày. ´ Tiết kiệm tiền,Tiết kiệm thời gian ´ Không có giới hạn về kích thước ´ Vật liệu khá đắt ($700/gallon) 3/29/2011 21 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM Nguồn Laze đắt ($10’000), khoảng 2000 giờ sử dụng. Bị cong vênh ở những vị trí thành mỏng Cần có hệ thống đỡ Có ê ô h à tất khi t hì h nguy n c ng o n sau ạo n ´Độ chính xác kích thước 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM 3/29/2011 22 ´Chất lượng bề mặt «Độ nhám bề mặt khi chưa xử lý cuả công nghệ SLA cao hơn 103 so với FDM 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM . ´Thay đổi kích thước do tác động của độ ẩm «Sự thay đổi kích thước xảy ra thường xuyên khi khi các sản phẩm tạo bằng công nghệ SLA được giữ trong môi trường ẩm. Những mong muốn về nhựa SLA trong tương lai ´ Nâng cao độ bền va đập (Ít giòn hơn) 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM ´ Linh hoạt hơn ´ Nâng cao tốc độ bắt sáng ´ Nâng cao độ bền ´ Nâng cao độ chính xác ´ Tính dẫn điện ´ Chiụ được nhiệt độ cao hơn ´ Tính chống hoà tan và ngược lại 3/29/2011 23 Một số điều lưu ý để giảm hư hỏng ´ Dùng Use high exposure và tốc độ quyết thấp để quá trình trùng hợp được hoàn tất dưới 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM tác dụng của điểm sáng laze. ´ Dùng nhựa với tốc độ trùng hợp cao hơn ´ Giảm công suất nguồn laze để giảm tốc độ quyét đối với for a given exposure. ´ Dùng nhựa có độ co rút thấp ´ Tăng chiều dầy của mỗi lớp để tăng độ bền Öu ñieåm: Nhöôïc ñieåm: V ä li ä û d kh â ñ d 2. ƯU NHƯỢC ĐIỂM - Taïo maãu coù ñoä chính xaùc cao, caáu truùc phöùc taïp. - Maãu coù chaát löôïng beà maët vaø ñoä beàn cao. - Nhanh hôn caùc phöông phaùp khaùc - at eu sö uïng ong a aïng. - Caàn quaù trình haäu xöû lyù. - Coù theå xaûy ra cong veânh, co ruùt ôû moät soá loaïi nhöïa. (ngoaïi tröø SGC). - Khoâng caàn ngöôøi theo doõi quaù trình. 3/29/2011 24 Rapid Prototyping Applications Form, Fit, Function Seen here attached to the US Navy's M4A1 machine gun, an ABS prototype stock was tested on the firing range with live ammunition. Prototype built on FDM system from Stratasys. 3/29/2011 25 Manufacturing Ex. Investment Casting • Wax pattern build from Stratasys multi-jet droplet technique • Pattern used in investment casting to fabricate metal ring • Allows for design modifications and quick turnaround of metal band Medical Uses Models of Cerebral Arterio-venous Malformation and surrounding skull, with data from a CT Angiogram. Built by stereolithgraphy RP process. Allows advanced neurosurgical planning. 3/29/2011 26 3.ỨNGDỤNG 3.ỨNGDỤNG 3/29/2011 27 3.ỨNGDỤNG 3.ỨNGDỤNG Automobile Manufacuturing (Manifold prototype, Rover Group, England) 3/29/2011 28 3.ỨNGDỤNG 3.ỨNGDỤNG 8 3/29/2011 29 3.QÚA TRÌNH LÀM KHUÔN ÉP PHUN CAD SLA-250package CAD Models SLA Build Epoxy Injection Back Fill Mold Back Filled Inserts Plastic Part ME 4210: Manufacturing Processes and Engineering 11 Prof. J.S. Colton 3.KHUÔN TẠO BẰNG CÔNG NGHỆ SLA ME 4210: Manufacturing Processes and Engineering 12 Prof. J.S. Colton 3/29/2011 30 RAPID TOOLING - QUICK CAST ME 4210: Manufacturing Processes and Engineering 13 Prof. J.S. Colton RAPID TOOLING - QUICK CAST ME 4210: Manufacturing Processes and Engineering 14 Prof. J.S. Colton 3/29/2011 31 ´ Stereo-lithography master ´ bronze cast, gold plated 3/29/2011 32 VẬT LIỆU TRONG CÔNG NGHỆ SLA ´ Nhựa dùng cho SLA : đó là lọai nhựa có khả năng nhậy sáng ² Đặc tính ¹ Phản ứng toàn phần 100% ¹ Năng lượng yêu cầu không cao ( nhỏ hơn từ 50-100 lần so với công nghệ công nghệ lưu hoá lớp phủ) « Sự trùng hợp : Là quá trình liên kết các phân tử nhỏ (các đơn phân tử ) thành các phân tử lớn hơn (polymers) bao gồm nhiều cụm đơn phân tử « Khi quá trình trùng hợp xảy ra (phản ứng hóa học) nhiều đặc tính thay đổi, độ bền cắt tăng lên, mật độ tăng khi nhựa chuyển từ trạng thái lỏ g g t g thái ắ ( út) 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 63 n san rạn r n co r « Quá trình trùng hợp trong công nghệ SLA xảy ra khi nhựa lỏng bị đông đặc do tác động của tia laze.. « Đặc tính quan trọng để chọn loaị nhựa là độ co rút và kết quả độ co rút làm bóp méo sản phẩm. ► Nhựa đóng vai trò quan trọng trong công nghệ stereolithography ► Nhiều loại nhựa mới đã được đưa ra thị trường và sử dụng VẬT LIỆU → ABS được dùng với mục tiêu sử dụng ngắn.” → Nhiệt độ cao , nhựa bền (POM, PC performance) 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 64 © CMET, HAGIWARA, 2008 3/29/2011 33 SỬ DỤNG NHỰAỞ NHẬT VÀ CÁC NƯỚC ASIAN AcademicMedical 16%5% Service providorChemical 36%industry 4% Toy, amusement 3% Heavy industry Home 2% Automotive 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 65 electronics, 10%OAPrecision electronics 6%machine, parts 12% 6% © CMET, HAGIWARA, 2008 NHỰA BỀN TSR-821 a TSR-821: - Nhựa kết hợp Epoxy/Acrylate - Bền 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 66 © CMET, HAGIWARA, 2008 3/29/2011 34 Nhựa bền mới TSR-831 Resin • Có đặc tính tốt trong môi trường có độ ẩm cao • Dùng có độ bền cao (PP) 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 67 Nhựa trong suốt TSR-829 • Nhựa PMMA có độ trong suốt cao • Chịu được độ ẩm cao 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 68 © CMET, HAGIWARA, 2008 3/29/2011 35 Nhựa TSR-920 chiụ được nhiệt độ cao • Thích hợp ở nhiệt độ >100℃ 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 69 © CMET, HAGIWARA, 2008 NHỰA CÓ MÔĐUN ĐÀN HỒI CAO TSR-755 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 70 © CMET, HAGIWARA, 2008 3/29/2011 36 NHỰA CAO SU TSR-1920B 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 71 © CMET, HAGIWARA, 2008 NHỰA CAO SU SILICON TSR-510 3/29/2011 CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ 72 © CMET, HAGIWARA, 2008 3/29/2011 37 CÁC NGHIÊN CỨU TẠI TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA TP. HỒ CHÍ MINH NGHIEÂN CÖÙU KHAÛO SAÙT KHAÛ NANG CUÛA PHÖÔNG PHAÙP SLA Kh û ù kh û â h ä¾ ao sat a naêng cong ng e ¾ Khaûo saùt ñoä chính xaùc vaø ñoä nhaùm beà maët cuûa maãu 3/29/2011 38 KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ ¾ Thöû khaû naêng taïo beà maët phöùc taïp Thöû kh û ê t l ã ã höù t t¾ a nang aïo o rong p c aïp rong saûn phaåm ¾ Thöû khaû naêng taïo chi tieát trong chi tieát khaùc á¾ Thöû khe hôû nhoû nhat cho pheùp giöõa 2 chi tieát KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Ñoà chôi treû em 3/29/2011 39 KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Chaân vòt taøu thuûy KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Ñoâi chim boà caâu 3/29/2011 40 KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Khôùp caàu KHAÛO SAÙT ÑOÄ CHÍNH XAÙC VAØ ÑOÄ NHAÙM BEÀ MAËT CUÛA MAÃU ¾ Maãu thöû ¾ Thieát bò ¾ Duïng cuï ño ¾ Keát quaû 3/29/2011 41 3/29/2011CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ MAÃU THÖÛ 81 3/29/2011CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ DUÏNG CUÏ ÑO 82 3/29/2011 42 3/29/2011CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ KEÁT QUAÛ KIEÅM TRA KÍCH THÖÔÙC L1 STT Kích thöôùc L1 (mm) Sai soá maãu Thieát keá Thöïc teá Tuyeät ñoái Tyû leä % 1 34 34,25 0,25 0,73 δ1 = Lmax – Lmin = 34,25 – 34,18 = 0,07mm 2 34 34,22 0,22 0,64 3 34 34,23 0,23 0,67 4 34 34,25 0,25 0,60 5 34 34,20 0,20 0,58 6 34 34,20 0,20 0,58 7 34 34,20 0,20 0,58 83 8 34 34,18 0,18 0,52 9 34 34,18 0,18 0,52 10 34 34,20 0,20 0,58 Trung bình 34 34,20 0,20 0,58 3/29/2011CN SLA PGS.TS THÁI THỊ THU HÀ KEÁT QUAÛ KIEÅM TRA ÑOÄ NHAÙM BEÀ MAËT RA (µM) STT Beà maët A (2) Beà maët B (1) 1 0,34 0,31 2 0,37 0,36 3 0,48 0,34 4 0,26 0,81 5 0,22 0,31 6 0,33 0,42 84 7 0,35 0,40 8 0,46 0,46 9 0,34 0,34 10 0,23 0,26 3/29/2011 43 MOÄT SOÁ ÖÙNG DUÏNG THÖÏC TEÁ Naép buùt bi Thieân Long 3/29/2011 44 MOÄT SOÁ ÖÙNG DUÏNG THÖÏC TEÁ Maët naï phoøng ñoäc 3/29/2011 45 CHI TIEÁT CAÁY GHEÙP CHO BEÄNH NHAÂN ÔÛ BEÄNH VIEÄN CHÔÏ RAÃY MOÄT SOÁ CHI TIEÁT CAÁY GHEÙP CHO BEÄNH NHAÂN ÔÛ BEÄNH VIEÄN 115 3/29/2011 46 MOÄT SOÁ ÖÙNG DUÏNG THÖÏC TEÁ: BEÄNH NHAÂN ÑAÀU TIEÂN KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Khôùp caàu 3/29/2011 47 KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Ñoà chôi treû em KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Chaân vòt taøu thuûy 3/29/2011 48 KHAÛO SAÙT KHAÛ NAÊNG COÂNG NGHEÄ Ñoâi chim boà caâu I. CAÁU TAÏO CUÛA HEÄ THOÁNG SLA Heä thoáng bao goàm: - Moät thuøng (vat) chöùa dung dòch caûm saùng (liquid photopolymer). - Moät taám ñeá (platform) di chuyeån theo phöông thaúng ñöùng. - Moät heä thoáng goàm: nguoàn laser (HeCd laser) vaø caùc thaáu kính (lenses). - Heä thoáng caùc göông phaûn xaï (mirror) ñeå ñieàu khieån tia laser. - Moät heä thoáng laser khaùc (HeNe laser) ñeå kieåm tra möùc chaát loûng coøn trong thuøng. - Moät heä thoáng dao gaït (sweepers) ñeå taïo ra moät lôùp nhöïa ñoàng ñeàu. 3/29/2011 49 1.NGUYÊN LÝ 6 Hệ thống gương quyét Thấu kính 1.NGUYÊN LÝ Nguồn Laze Trên hệ thống 3D-CAD Tia laze model Dữ liệu CAD data→Dữ liệu lớp Thùng chứa nhựa Hệ thống CMET 6000 II (610x610x500mm) 3/29/2011 50 NGUYEÂN LYÙ THIEÁT BÒ Heä thoáng Viper Si2 3/29/2011 51 THIEÁT BÒ Model SLA-190 SLA-250 (Viper Si2) SLA-350 Loaïi lade HE-Cd He-Cd Nd:YVO4 Coâng suaát tia lade (mW) 7.5 16 160 Côõ veát (mm) 0 2-0 29 0 2-0 29 0 25 0 025 . . . . . ± . Toác ñoä queùt theo truïc X-Y (m/s) 0.762 0.762 5 Ñoä phaân giaûi 0.0025 0.0025 0.0018 Theå tích thuøng chöùa (cm3) - 29.5 99.3 Theå tích laøm vieäc (mm x mm x mm) 190x190x250 250x250x250 350x350x400 Khoái löôïng lôùn nhaát cuûa chi tieát (Kg) - 9.1 56.8 Chieàu daøy nhoû nhaát cuûa lôùp (mm) 0.1 0.1 0.05 Kích thöôùc maùy (m x m x m) 0.72 x 1.2 x 1.6 0.7 x 1.2 x 1.6 1.0 x 1.0 x 2.0 Boä quaûn lí döõ lieäu PC PC PC Naêng löôïng cung caáp 115 VAc 15A 220 VAC 8A 115 VAc 15A 220 VAC 8A 220-240 VAC 16A 2.MAÙY TAÏO MAÃU NHANH SLA STEREOLITHOGRAPHY MACHINES 102 3/29/2011 52 2.MAÙY TAÏO MAÃU NHANH SLA 103 2.MAÙY TAÏO MAÃU NHANH SLA 3/29/2011 9 104 3/29/2011 53 RAPID PROTOTYPING SYSTEMS - SPECIFICATIONS Source: Anonymous; “Rapid Prototyping Equipment Roundup - U.S.A.”, Rapid Prototyping Report, January, 1998 3/29/2011 2.MAÙY TAÏO MAÃU NHANH SLA 106 3/29/2011 54 3/29/2011 2.MAÙY TAÏO MAÃU NHANH SLA 107 3/29/2011 107 2.MÁY SLA 5000 CỦA HÃNG 3D-SYSTEM: 3/29/2011 55 2.RAPID MEISTER 6000-II •Sophisticated,Innovative Design •Digital Scanner •800mW LASER 3/29/2011 •MH Recoater Compact Design Có ba cửa Phần mềm dể thao tác Chiều rộng 610mm Có thể thay đổi thùng chứa nhựa © CMET, HAGIWARA, 2008 109 2.RAPID MEISTER 6000-II •Sophisticated,Innovative Design •Digital Scanner •800mW LASER 3/29/2011 •MH Recoater Compact Design Có ba cửa Phần mềm dể thao tác Chiều rộng 610mm Có thể thay đổi thùng chứa nhựa © CMET, HAGIWARA, 2008 110 3/29/2011 56 SLA Machine by 3D Systems 2.MAÙY TAÏO MAÃU NHANH SLA 3/29/2011 ´ Kích thước bao: 350 x 350 x 400 mm in XYZ ´ : 0.00177 mmĐộ phân giải theo phương đứng ´ Độ lặp lại vị trí : ±0.005 mm ´ Khối lượng lớn nhất của sản phẩm: 56.8 kg 111 1.NGUYÊN LÝ 3/29/2011 57 CÁC BỘ PHẬN CỦA HỆ THỐNG SLA 3 Hệ thống gương quyét Thấu kính 1.NGUYÊN LÝ Nguồn Laze Trên hệ thống 3D-CAD Tia laze model Dữ liệu CAD data→Dữ liệu lớp Thùng chứa nhựa Hệ thống CMET 6000 II (610x610x500mm) 3/29/2011 58 MICRO-STEREOLITHOGRAPHY TECHNOLOGY (I) Mirror UV light source ¤ Focused laser beam diameter in several micro-scale. Elevator ¤ Layer-by-layer fabrication. ¤ 3D freeform micro-structure in a single process. ¤Maskless process. ¤MEMS or other micro fabrication process. Photopolymer ¤ Various Photopolymers Principle of Stereolithography Micro-stereolithography Technology (II) Beam Expander Mirror& ND Filter Shutter Ar+ UV Laser BeamShutter Expander Beam SplitterND Filter Focusing Lens Light Source Elevator Lens Z Stage Elevator & Resin Container Photopolymer X-Y Stage Command Schematic diagram of Micro-stereolithography apparatus
Tài liệu liên quan