Đề tài Phương pháp phân tích phổ EDS

Kĩ thuật EDX đ-ợc phát triển từ ngững năm 1960 và thiết bị th-ơng phẩ xuất hiện vào đầu những năm 1970 với việc sử dụng Detector dịch chuyển Si, Li hoặc Ge. Có nhiều thiết bị phân tích EDX nh-ng chủ yếu EDX đ-ợc phát triển trong các kính hiển vi điện tử, ổ đó các phép phân tích đ-ợc thực hiện nhờ các chùm điện tử có năng l-ợng cao và đ-ợc thu hẹp nhờ hệ các thấu kính điện tử.